Estudo de dispositivos miniaturizados para controle do escoamento de fluidos (2000)
- Authors:
- Autor USP: SIMÕES, ELIPHAS WAGNER - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: O trabalho focou-se no estudo de microdispositivos fluídicos implementados em silício. Microatuadores sem partes móveis, microamplificadores fluídicos, foram projetados, implementados e caracterizados. Estes tipos de dispositivos apresentam quatro partes funcionais básicas: uma porta de alimentação, portas de controle, portas de saída e uma região de interação. Portas de ventilação podem ser adicionadas para se reduzir a pressão interna do dispositivo. O jato que emerge da porta de alimentação interage com o jato de controle na região de interação. Como resultado, o jato de alimentação é direcionado para uma ou outra saída, dependendo da pressão (vazão) dos controles. Análises numéricas com o programa ANSYS/FLOTRAN permitiram entender os mecanismos do escoamento interno e criar ma base para o projeto de dispositivos com diferentes configurações geométricas. Os dispositivos fabricados foram microusinados em silício usando uma combinação de corrosões úmidas e secas. Os microcanais obtidos (diâmetros hidráulicos de 30 - 40 'MICROMETROS') foram selados com vidro. As estruturas completas têm áreas máximas de 18 mm x 6 mm, incluindo os microcanais de interconexões. O controle do escoamento de gás foi obtido com ganhos de vazão (vazão de saída/vazão de controle) tão altos quanto 8,5 e o ganho é uma função da vazão de alimentação. O escoamento de líquidos foi facilmente controlado utilizando-se gás na porta de controle.
- Imprenta:
- Data da defesa: 22.03.2000
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ABNT
SIMÕES, Eliphas Wagner. Estudo de dispositivos miniaturizados para controle do escoamento de fluidos. 2000. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2000. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-16102024-111452/pt-br.php. Acesso em: 21 fev. 2026. -
APA
Simões, E. W. (2000). Estudo de dispositivos miniaturizados para controle do escoamento de fluidos (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-16102024-111452/pt-br.php -
NLM
Simões EW. Estudo de dispositivos miniaturizados para controle do escoamento de fluidos [Internet]. 2000 ;[citado 2026 fev. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-16102024-111452/pt-br.php -
Vancouver
Simões EW. Estudo de dispositivos miniaturizados para controle do escoamento de fluidos [Internet]. 2000 ;[citado 2026 fev. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-16102024-111452/pt-br.php
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