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Estudo da formacao de disiliceto de cobalto em duas etapas termicas sobre silicio monocristalino altamente dopado (1995)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: SIMÕES, ELIPHAS WAGNER - EP
  • Unidades: EP
  • Sigla do Departamento: PMT
  • Subjects: ENGENHARIA METALÚRGICA
  • Language: Português
  • Abstract: Neste trabalho estudamos a formacao de siliceto de cobalto sobre substrato de silicio monocristalino pouco e altamente dopado, em duas etapas termicas, intercaladas por um etch seletivo de cobalto nao reagido. Para a primeira etapa, tratamentos isotermicos foram conduzidos a 400'GRAUS'c por recozimento termico rapido em ambiente de argonio. Como resultado, observamos uma forte influencia do tipo de dopante no processo de silicetacao em baixa temperatura: no caso de amostras dopadas com boro, ha indicios de um adiamento da formacao da fase 'CO''SI'. Para as amostras dopadas com arsenio, o crescimento da fase 'CO IND.2''SI' e limitado e a presenca da fase 'CO''SI' nao foi observada. Verificamos forte perda de arsenio em funcao do tempo da primeira etapa termica, perda esta que se tornou mais critica apos a segunda etapa. A condicao 400'GRAUS'c/120 segundos se mostrou a mais viavel para a primeira etapa, pois o filme de disiliceto de cobalto obtido apos a segunda etapa (750'GRAUS'c/30 segundos) tem espessura da ordem de 50'NANOMETROS', com uma concentracao de arsenio no substrato de 4,18 x'10 POT.14' atomos por centrimetro quadrado.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 31.03.1995

  • How to cite
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    • ABNT

      SIMOES, Eliphas Wagner; FURLAN, Rogério. Estudo da formacao de disiliceto de cobalto em duas etapas termicas sobre silicio monocristalino altamente dopado. 1995.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1995.
    • APA

      Simoes, E. W., & Furlan, R. (1995). Estudo da formacao de disiliceto de cobalto em duas etapas termicas sobre silicio monocristalino altamente dopado. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Simoes EW, Furlan R. Estudo da formacao de disiliceto de cobalto em duas etapas termicas sobre silicio monocristalino altamente dopado. 1995 ;
    • Vancouver

      Simoes EW, Furlan R. Estudo da formacao de disiliceto de cobalto em duas etapas termicas sobre silicio monocristalino altamente dopado. 1995 ;

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