Estudo da formação de disiliceto de cobalto em duas etapas térmicas sobre silício monocristalino altamente dopado (1995)
- Authors:
- Autor USP: SIMÕES, ELIPHAS WAGNER - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMT
- Subjects: SILÍCIO; COBALTO
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho estudamos a formação de siliceto de cobalto sobre substrato de silício monocristalino pouco e altamente dopado, em duas etapas térmicas, intercaladas por um ETCH seletivo de cobalto não reagido. Para a primeira etapa, tratamentos isotérmicos foram conduzidos a 400'GRAUS'c por recozimento térmico rápido em ambiente de argônio. Como resultado, observamos uma forte influência do tipo de dopante no processo de silicetação em baixa temperatura: no caso de amostras dopadas com boro, há indícios de um adiamento da formação da fase 'CO''SI'. Para as amostras dopadas com arsênio, o crescimento da fase 'CO IND.2''SI' é limitado e a presença da fase 'CO''SI' não foi observada. Verificamos forte perda de arsênio em função do tempo da primeira etapa térmica, perda esta que se tornou mais crítica apás a segunda etapa. A condição 400'GRAUS'c/120 segundos se mostrou a mais viável para a primeira etapa, pois o filme de disiliceto de cobalto obtido apás a segunda etapa (750'GRAUS'c/30 segundos) tem espessura da ordem de 50'NANOMETROS', com uma concentração de arsênio no substrato de 4,18 x'10 POT.14' átomos por centímetro quadrado.
- Imprenta:
- Data da defesa: 31.03.1995
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ABNT
SIMOES, Eliphas Wagner. Estudo da formação de disiliceto de cobalto em duas etapas térmicas sobre silício monocristalino altamente dopado. 1995. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1995. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-15082024-090855/pt-br.php. Acesso em: 21 fev. 2026. -
APA
Simoes, E. W. (1995). Estudo da formação de disiliceto de cobalto em duas etapas térmicas sobre silício monocristalino altamente dopado (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-15082024-090855/pt-br.php -
NLM
Simoes EW. Estudo da formação de disiliceto de cobalto em duas etapas térmicas sobre silício monocristalino altamente dopado [Internet]. 1995 ;[citado 2026 fev. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-15082024-090855/pt-br.php -
Vancouver
Simoes EW. Estudo da formação de disiliceto de cobalto em duas etapas térmicas sobre silício monocristalino altamente dopado [Internet]. 1995 ;[citado 2026 fev. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-15082024-090855/pt-br.php
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