Caracterização de plasmas com a técnica de sonda eletrostática (1998)
- Authors:
- Autor USP: CIRINO, GIUSEPPE ANTONIO - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: Neste tabalho foi realizado um estudo da técnica de sondas eletrostáticas para caracterização de plasmas utilizados em processos de microeletrônica, particularmente na corrosão seca por plasma. Esta técnica permite determinar parâmetros elétricos de plasma como densidade de plasma, energia média de elétron, potencial flutuante e potencial de plasma. Foi realizado um estudo comparativo de vários tipos de sondas entre elas, uma sonda simples com choque de RF, uma sonda simples com choque de RF e com eletrodo de compensação e uma sonda dupla. Primeiramente foi verificada a influência dos choques de RF com uma nova técnica, medindo-se com um osciloscópio a componente AC do potencial gerado pelo plasma, através do choque. Depois foram caracterizados plasmas de argônio com três tipos diferentes de sondas. Os resultados obtidos mostram que a sonda dupla permite obter a densidade de plasma e a energia média de elétron com maior precisão; a sonda com choque de RF e com eletrodo de compensação apresenta resultados mais confiáveis de potencial e plasma e potencial flutuante, em relação à sonda construída somente com o choque de RF. Foi feita caracterização de plasmas com gases utilizados nos processos de microeletrônica: argônio, oxigênio e hexafluoreto de enxofre.
- Imprenta:
- Data da defesa: 29.05.1998
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ABNT
CIRINO, Giuseppe Antonio. Caracterização de plasmas com a técnica de sonda eletrostática. 1998. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1998. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14102024-110323/pt-br.php. Acesso em: 28 dez. 2025. -
APA
Cirino, G. A. (1998). Caracterização de plasmas com a técnica de sonda eletrostática (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14102024-110323/pt-br.php -
NLM
Cirino GA. Caracterização de plasmas com a técnica de sonda eletrostática [Internet]. 1998 ;[citado 2025 dez. 28 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14102024-110323/pt-br.php -
Vancouver
Cirino GA. Caracterização de plasmas com a técnica de sonda eletrostática [Internet]. 1998 ;[citado 2025 dez. 28 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14102024-110323/pt-br.php - Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem
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