Projeto, construcao e operacao de um reator para o processo de impregnacao de vapor quimico assistido por plasma (ivqp) (1992)
- Authors:
- Autor USP: MACIEL, HOMERO SANTIAGO - EP
- Unidade: EP
- Subjects: VÁCUO (APLICAÇÕES); REATORES QUÍMICOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Resumos
- Conference titles: Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia
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ABNT
PETRACONI, G et al. Projeto, construcao e operacao de um reator para o processo de impregnacao de vapor quimico assistido por plasma (ivqp). 1992, Anais.. Campinas: Unicamp, 1992. . Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Petraconi, G., Clara, L. N., Maciel, H. S., & Otani, C. (1992). Projeto, construcao e operacao de um reator para o processo de impregnacao de vapor quimico assistido por plasma (ivqp). In Resumos. Campinas: Unicamp. -
NLM
Petraconi G, Clara LN, Maciel HS, Otani C. Projeto, construcao e operacao de um reator para o processo de impregnacao de vapor quimico assistido por plasma (ivqp). Resumos. 1992 ;[citado 2024 abr. 23 ] -
Vancouver
Petraconi G, Clara LN, Maciel HS, Otani C. Projeto, construcao e operacao de um reator para o processo de impregnacao de vapor quimico assistido por plasma (ivqp). Resumos. 1992 ;[citado 2024 abr. 23 ] - Estudo da influencia da potencia de rf aplicada ao catodo em filmes finos de titanio e cobalto depositados por sputtering
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