Estudo por microscopia eletronica de varredura do perfil de corrosao de silicio obtido com plasma de cbrf3 (1991)
- Authors:
- Autor USP: MACIEL, HOMERO SANTIAGO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Resumo das Comunicacoes
- Conference titles: Coloquio da Sociedade Brasileira de Microscopia Eletronica
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ABNT
YAMAMOTO, R K; MACIEL, H. S. Estudo por microscopia eletronica de varredura do perfil de corrosao de silicio obtido com plasma de cbrf3. Anais.. São Paulo: Sbme, 1991. -
APA
Yamamoto, R. K., & Maciel, H. S. (1991). Estudo por microscopia eletronica de varredura do perfil de corrosao de silicio obtido com plasma de cbrf3. In Resumo das Comunicacoes. São Paulo: Sbme. -
NLM
Yamamoto RK, Maciel HS. Estudo por microscopia eletronica de varredura do perfil de corrosao de silicio obtido com plasma de cbrf3. Resumo das Comunicacoes. 1991 ; -
Vancouver
Yamamoto RK, Maciel HS. Estudo por microscopia eletronica de varredura do perfil de corrosao de silicio obtido com plasma de cbrf3. Resumo das Comunicacoes. 1991 ; - Efeito de injecao de eletrons primarios
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