Corrosao de trincheiras em silicio com plasma de c'BR''F IND.3' (1992)
- Authors:
- Autor USP: MACIEL, HOMERO SANTIAGO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Epusp
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 1992
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
YAMAMOTO, R K e MACIEL, H. S. Corrosao de trincheiras em silicio com plasma de c'BR''F IND.3'. 1992, Anais.. São Paulo: Sbmicro/Epusp, 1992. . Acesso em: 14 mar. 2026. -
APA
Yamamoto, R. K., & Maciel, H. S. (1992). Corrosao de trincheiras em silicio com plasma de c'BR''F IND.3'. In Anais. São Paulo: Sbmicro/Epusp. -
NLM
Yamamoto RK, Maciel HS. Corrosao de trincheiras em silicio com plasma de c'BR''F IND.3'. Anais. 1992 ;[citado 2026 mar. 14 ] -
Vancouver
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