Energy analysis of electrons, positive and negative ions in oxygen plasma beams (1993)
- Authors:
- Autor USP: MACIEL, HOMERO SANTIAGO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: SBF/Inpe
- Publisher place: Sao Jose dos Campos
- Date published: 1993
- Source:
- Título do periódico: Proceedings
- Conference titles: Encontro Brasileiro de Fisica
-
ABNT
PETRACONI, G e MACIEL, H. S. Energy analysis of electrons, positive and negative ions in oxygen plasma beams. 1993, Anais.. Sao Jose dos Campos: SBF/Inpe, 1993. . Acesso em: 26 abr. 2024. -
APA
Petraconi, G., & Maciel, H. S. (1993). Energy analysis of electrons, positive and negative ions in oxygen plasma beams. In Proceedings. Sao Jose dos Campos: SBF/Inpe. -
NLM
Petraconi G, Maciel HS. Energy analysis of electrons, positive and negative ions in oxygen plasma beams. Proceedings. 1993 ;[citado 2024 abr. 26 ] -
Vancouver
Petraconi G, Maciel HS. Energy analysis of electrons, positive and negative ions in oxygen plasma beams. Proceedings. 1993 ;[citado 2024 abr. 26 ] - Estudo da influencia da potencia de rf aplicada ao catodo em filmes finos de titanio e cobalto depositados por sputtering
- Plasmas frios: aspectos de aplicacoes tecnologicas
- Efeito do confinamento magnetico multidipolo em plasma gerado por descarga d c
- Deposicao de carbono pirolitico, via processo de deposicao de vapor quimico assistido a plasma de metano , sobre substratos de carbono vitreo
- Filmes finos de materiais organicos por polimerizacao a plasma via descarga de microondas
- Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3'
- Estudo por microscopia eletronica de varredura do perfil de corrosao de silicio obtido com plasma de cbrf3
- Corrosao anisotropica de silicio com plasma de cbrf3 para obtencao de trincheiras
- Levantamento de curva de paschen em plasmas formados por fontes dc utilizando-sediferentes configuracoes de eletrodos
- Propagacao nao estacionaria de ondas ion-acusticas nao lineares num plasma com ions negativos
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
