Corrosao anisotropica de silicio com plasma de cbrf3 para obtencao de trincheiras (1991)
- Autores:
- Autor USP: MACIEL, HOMERO SANTIAGO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Idioma: Português
- Imprenta:
- Editora: Sbmicro/Ufmg
- Local: Belo Horizonte
- Data de publicação: 1991
- Fonte:
- Título do periódico: Anais
- Nome do evento: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
YAMAMOTO, R K e MACIEL, H. S. Corrosao anisotropica de silicio com plasma de cbrf3 para obtencao de trincheiras. 1991, Anais.. Belo Horizonte: Sbmicro/Ufmg, 1991. . Acesso em: 19 set. 2024. -
APA
Yamamoto, R. K., & Maciel, H. S. (1991). Corrosao anisotropica de silicio com plasma de cbrf3 para obtencao de trincheiras. In Anais. Belo Horizonte: Sbmicro/Ufmg. -
NLM
Yamamoto RK, Maciel HS. Corrosao anisotropica de silicio com plasma de cbrf3 para obtencao de trincheiras. Anais. 1991 ;[citado 2024 set. 19 ] -
Vancouver
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