Photoluminescence in silicon-rich PECVD silicon oxynitride alloys (2008)
Fonte: SBMICRO 2008: Anais. Nome do evento: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO. Unidade: EP
Assunto: MICROELETRÔNICA
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ABNT
RIBEIRO, M e PEREYRA, Inés. Photoluminescence in silicon-rich PECVD silicon oxynitride alloys. 2008, Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2008. . Acesso em: 15 nov. 2025.APA
Ribeiro, M., & Pereyra, I. (2008). Photoluminescence in silicon-rich PECVD silicon oxynitride alloys. In SBMICRO 2008: Anais. Pennington: The Electrochemical Society.NLM
Ribeiro M, Pereyra I. Photoluminescence in silicon-rich PECVD silicon oxynitride alloys. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2025 nov. 15 ]Vancouver
Ribeiro M, Pereyra I. Photoluminescence in silicon-rich PECVD silicon oxynitride alloys. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2025 nov. 15 ]
