Souza Filho, José Cândido de; Santos Filho, Sebastião Gomes dos 
Fonte: SBMicro 2000: proceedings. Nome do evento: International Conference on Microelectronics and Packaging. Unidade: EP
Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
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ABNT
SOUZA FILHO, José Cândido de e SANTOS FILHO, Sebastião Gomes dos. Analysis of the surface roughness and surface particle concentration using a new technique: integrated angle resolved LASER scattering (IARLS). 2000, Anais.. Manaus: SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP, 2000. . Acesso em: 16 nov. 2025.APA
Souza Filho, J. C. de, & Santos Filho, S. G. dos. (2000). Analysis of the surface roughness and surface particle concentration using a new technique: integrated angle resolved LASER scattering (IARLS). In SBMicro 2000: proceedings. Manaus: SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP.NLM
Souza Filho JC de, Santos Filho SG dos. Analysis of the surface roughness and surface particle concentration using a new technique: integrated angle resolved LASER scattering (IARLS). SBMicro 2000: proceedings. 2000 ;[citado 2025 nov. 16 ]Vancouver
Souza Filho JC de, Santos Filho SG dos. Analysis of the surface roughness and surface particle concentration using a new technique: integrated angle resolved LASER scattering (IARLS). SBMicro 2000: proceedings. 2000 ;[citado 2025 nov. 16 ]
