MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process (2012)
Oliveira, Victor Inacio de; Ibrahim, Ricardo Cury 
; Barros, Ettore Apolônio de ; Mendonça, Lucas Gonçalves Dias; Lima, Bruno Luis Soares de ; Piazzeta, Maria Helena de Oliveira; Gobbi, Angelo Luiz
Fonte: Microelectronics technology and devices, SBMicro. Nome do evento: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices. Unidade: EP
Assunto: MICROELETRÔNICA
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ABNT
OLIVEIRA, Victor Inacio de et al. MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process. 2012, Anais.. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, 2012. Disponível em: https://doi.org/10.1149/04901.0431ecst. Acesso em: 08 out. 2025.APA
Oliveira, V. I. de, Ibrahim, R. C., Barros, E. A. de, Mendonça, L. G. D., Lima, B. L. S. de, Piazzeta, M. H. de O., & Gobbi, A. L. (2012). MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process. In Microelectronics technology and devices, SBMicro. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo. doi:10.1149/04901.0431ecstNLM
Oliveira VI de, Ibrahim RC, Barros EA de, Mendonça LGD, Lima BLS de, Piazzeta MH de O, Gobbi AL. MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2025 out. 08 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0431ecstVancouver
Oliveira VI de, Ibrahim RC, Barros EA de, Mendonça LGD, Lima BLS de, Piazzeta MH de O, Gobbi AL. MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2025 out. 08 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0431ecst
