Carbon ion implantation on SOI-SIMOX for SICOI structures information (2005)
Forhan, Neisy Amparo Escobar; Zawislak, Fernando Claudio; Fantini, Marcia 
; Pereyra, Inés
Subjects: CARBONO, ÍONS, SEMICONDUTORES
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ABNT
FORHAN, Neisy Amparo Escobar et al. Carbon ion implantation on SOI-SIMOX for SICOI structures information. 2005, Anais.. Rio de Janeiro: Instituto de Física, Universidade de São Paulo, 2005. . Acesso em: 25 fev. 2025.APA
Forhan, N. A. E., Zawislak, F. C., Fantini, M., & Pereyra, I. (2005). Carbon ion implantation on SOI-SIMOX for SICOI structures information. In . Rio de Janeiro: Instituto de Física, Universidade de São Paulo.NLM
Forhan NAE, Zawislak FC, Fantini M, Pereyra I. Carbon ion implantation on SOI-SIMOX for SICOI structures information. 2005 ;[citado 2025 fev. 25 ]Vancouver
Forhan NAE, Zawislak FC, Fantini M, Pereyra I. Carbon ion implantation on SOI-SIMOX for SICOI structures information. 2005 ;[citado 2025 fev. 25 ]
