Ozono, Edson Moriyoshi; Silva, Ana Neilde Rodrigues da; Silva, Maria Lucia Pereira da; Ruchko, Leonid Fedorovich; Galvao, Ricardo Magnus Osorio 
Source: Program: Poster Session. Conference titles: Encontro Brasileiro de Física dos Plasmas. Unidades: EP, IF
Subjects: FÍSICA DE PLASMAS (CONGRESSOS), FILMES FINOS (CONGRESSOS), FISICA DE PLASMAS (TECNOLOGIA)(CONGRESSOS)
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ABNT
OZONO, Edson Moriyoshi et al. Production of silicon oxide like thin films by the use of atmospheric radio frequency plasma torch. 2013, Anais.. São Paulo: SBF, 2013. Disponível em: http://www.sbf1.sbfisica.org.br/eventos/ebfp/12/sys/resumos/R0086-1.pdf. Acesso em: 10 nov. 2024.APA
Ozono, E. M., Silva, A. N. R. da, Silva, M. L. P. da, Ruchko, L. F., & Galvao, R. M. O. (2013). Production of silicon oxide like thin films by the use of atmospheric radio frequency plasma torch. In Program: Poster Session. São Paulo: SBF. Recuperado de http://www.sbf1.sbfisica.org.br/eventos/ebfp/12/sys/resumos/R0086-1.pdfNLM
Ozono EM, Silva ANR da, Silva MLP da, Ruchko LF, Galvao RMO. Production of silicon oxide like thin films by the use of atmospheric radio frequency plasma torch [Internet]. Program: Poster Session. 2013 ;[citado 2024 nov. 10 ] Available from: http://www.sbf1.sbfisica.org.br/eventos/ebfp/12/sys/resumos/R0086-1.pdfVancouver
Ozono EM, Silva ANR da, Silva MLP da, Ruchko LF, Galvao RMO. Production of silicon oxide like thin films by the use of atmospheric radio frequency plasma torch [Internet]. Program: Poster Session. 2013 ;[citado 2024 nov. 10 ] Available from: http://www.sbf1.sbfisica.org.br/eventos/ebfp/12/sys/resumos/R0086-1.pdf
