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  • Unidade: EP

    Assuntos: FILMES FINOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

    Acesso à fonteComo citar
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    • ABNT

      DAMIANI, Larissa Rodrigues. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio. 2015. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2015. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/. Acesso em: 08 ago. 2024.
    • APA

      Damiani, L. R. (2015). Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/
    • NLM

      Damiani LR. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio [Internet]. 2015 ;[citado 2024 ago. 08 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/
    • Vancouver

      Damiani LR. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio [Internet]. 2015 ;[citado 2024 ago. 08 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/

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