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Tese (Doutorado)
Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio (2015)
Damiani, Larissa Rodrigues; Mansano, Ronaldo Domingues (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: FILMES FINOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
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ABNT
DAMIANI, Larissa Rodrigues. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio. 2015. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2015. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/. Acesso em: 08 ago. 2024.
APA
Damiani, L. R. (2015). Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/
NLM
Damiani LR. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio [Internet]. 2015 ;[citado 2024 ago. 08 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/
Vancouver
Damiani LR. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio [Internet]. 2015 ;[citado 2024 ago. 08 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/
Artigo de periodico
Thickness dependence of indium-tin oxide thin films deposited by RF magnetron sputtering (2010)
Damiani, Larissa Rodrigues; Mansano, Ronaldo Domingues
Source: Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. Unidade: EP
Assunto: ELETROQUÍMICA
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ABNT
DAMIANI, Larissa Rodrigues e MANSANO, Ronaldo Domingues. Thickness dependence of indium-tin oxide thin films deposited by RF magnetron sputtering. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010, v. 31, n. 1, p. 117-124, 2010Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1149/1.3474149. Acesso em: 08 ago. 2024.
APA
Damiani, L. R., & Mansano, R. D. (2010). Thickness dependence of indium-tin oxide thin films deposited by RF magnetron sputtering. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010, 31( 1), 117-124. doi:10.1149/1.3474149
NLM
Damiani LR, Mansano RD. Thickness dependence of indium-tin oxide thin films deposited by RF magnetron sputtering [Internet]. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. 2010 ;31( 1): 117-124.[citado 2024 ago. 08 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.3474149
Vancouver
Damiani LR, Mansano RD. Thickness dependence of indium-tin oxide thin films deposited by RF magnetron sputtering [Internet]. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. 2010 ;31( 1): 117-124.[citado 2024 ago. 08 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.3474149
Dissertação (Mestrado)
Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering (2009)
Damiani, Larissa Rodrigues; Mansano, Ronaldo Domingues (Orientador)
Unidade: EP
Subjects: FILMES FINOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
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ABNT
DAMIANI, Larissa Rodrigues. Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering. 2009. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2009. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/. Acesso em: 08 ago. 2024.
APA
Damiani, L. R. (2009). Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/
NLM
Damiani LR. Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering [Internet]. 2009 ;[citado 2024 ago. 08 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/
Vancouver
Damiani LR. Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering [Internet]. 2009 ;[citado 2024 ago. 08 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/

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