High quality low temperature DPECVD silicon dioxide (1997)
Pereyra, Inés 
; Alayo Chávez, Marco Isaías
Source: Journal of Non-Crystalline Solids. Unidade: EP
Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
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ABNT
PEREYRA, Inés e ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. High quality low temperature DPECVD silicon dioxide. Journal of Non-Crystalline Solids, v. 212, n. ju 1997, p. 225-231, 1997Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/s0022-3093(96)00650-3. Acesso em: 11 nov. 2024.APA
Pereyra, I., & Alayo Chávez, M. I. (1997). High quality low temperature DPECVD silicon dioxide. Journal of Non-Crystalline Solids, 212( ju 1997), 225-231. doi:10.1016/s0022-3093(96)00650-3NLM
Pereyra I, Alayo Chávez MI. High quality low temperature DPECVD silicon dioxide [Internet]. Journal of Non-Crystalline Solids. 1997 ; 212( ju 1997): 225-231.[citado 2024 nov. 11 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0022-3093(96)00650-3Vancouver
Pereyra I, Alayo Chávez MI. High quality low temperature DPECVD silicon dioxide [Internet]. Journal of Non-Crystalline Solids. 1997 ; 212( ju 1997): 225-231.[citado 2024 nov. 11 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0022-3093(96)00650-3
