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Trabalho de evento-resumo
High aspect ratio silicon microchannel definition via ICP plasma etching using SF6/Ar as gas mixture (2021)
Alvarez, H. S.; Cioldim, F. H.; Silva, A. R.; Diniz, J. A.
Fonte: Abstracts. Nome do evento: Workshop on Semiconductors and Micro and Nano Technology - SEMINATEC. Unidade: EESC
Assuntos: TRANSFERÊNCIA DE CALOR, CIRCUITOS INTEGRADOS, MICROELETRÔNICA, ENGENHARIA MECÂNICA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
ALVAREZ, H. S. et al. High aspect ratio silicon microchannel definition via ICP plasma etching using SF6/Ar as gas mixture. 2021, Anais.. São Paulo, SP: SBMicro, 2021. Disponível em: https://repositorio.usp.br/directbitstream/af37cdf0-62e5-4e55-90a1-799f83a30bb5/PROD_26257_SYSNO_3153042.pdf. Acesso em: 06 set. 2024.
APA
Alvarez, H. S., Cioldim, F. H., Silva, A. R., & Diniz, J. A. (2021). High aspect ratio silicon microchannel definition via ICP plasma etching using SF6/Ar as gas mixture. In Abstracts. São Paulo, SP: SBMicro. Recuperado de https://repositorio.usp.br/directbitstream/af37cdf0-62e5-4e55-90a1-799f83a30bb5/PROD_26257_SYSNO_3153042.pdf
NLM
Alvarez HS, Cioldim FH, Silva AR, Diniz JA. High aspect ratio silicon microchannel definition via ICP plasma etching using SF6/Ar as gas mixture [Internet]. Abstracts. 2021 ;[citado 2024 set. 06 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/af37cdf0-62e5-4e55-90a1-799f83a30bb5/PROD_26257_SYSNO_3153042.pdf
Vancouver
Alvarez HS, Cioldim FH, Silva AR, Diniz JA. High aspect ratio silicon microchannel definition via ICP plasma etching using SF6/Ar as gas mixture [Internet]. Abstracts. 2021 ;[citado 2024 set. 06 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/af37cdf0-62e5-4e55-90a1-799f83a30bb5/PROD_26257_SYSNO_3153042.pdf
Trabalho de evento-resumo
Poly (N-vinylcarbazole) conductor trails for microelectronics devices (2006)
Moreira, Taís Aparecida de Assis Garcia; Possidonio, Shirley; Wang, Shu Hui ; Onmori, Roberto Koji
Fonte: Abstracts. Nome do evento: Brazilian MRS Meeting. Unidade: EP
Assuntos: MATERIAIS, MICROELETRÔNICA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
MOREIRA, Taís Aparecida de Assis Garcia et al. Poly (N-vinylcarbazole) conductor trails for microelectronics devices. 2006, Anais.. Florianópolis: SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais, 2006. . Acesso em: 06 set. 2024.
APA
Moreira, T. A. de A. G., Possidonio, S., Wang, S. H., & Onmori, R. K. (2006). Poly (N-vinylcarbazole) conductor trails for microelectronics devices. In Abstracts. Florianópolis: SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais.
NLM
Moreira TA de AG, Possidonio S, Wang SH, Onmori RK. Poly (N-vinylcarbazole) conductor trails for microelectronics devices. Abstracts. 2006 ;[citado 2024 set. 06 ]
Vancouver
Moreira TA de AG, Possidonio S, Wang SH, Onmori RK. Poly (N-vinylcarbazole) conductor trails for microelectronics devices. Abstracts. 2006 ;[citado 2024 set. 06 ]

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