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  • Tese (Doutorado)

    Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação (2016)

    Colombo, Fábio Belotti; Páez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)

    Unidade: EP

    Subjects: AUTÔMATOS CELULARES, SIMULAÇÃO, MICROELETRÔNICA, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS

    Acesso à fonteHow to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      COLOMBO, Fábio Belotti. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação. 2016. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2016. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/. Acesso em: 09 out. 2024.

    • APA

      Colombo, F. B. (2016). Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/

    • NLM

      Colombo FB. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação [Internet]. 2016 ;[citado 2024 out. 09 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/

    • Vancouver

      Colombo FB. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação [Internet]. 2016 ;[citado 2024 out. 09 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/

  • Trabalho de evento

    Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach (2012)

    Colombo, Fábio Belotti; Páez Carreño, Marcelo Nelson

    Source: Microelectronics technology and devices, SBMicro. Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices. Unidade: EP

    Assunto: MICROELETRÔNICA

    Acesso à fonteDOIHow to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      COLOMBO, Fábio Belotti e PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach. 2012, Anais.. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, 2012. Disponível em: https://doi.org/10.1149/04901.0297ecst. Acesso em: 09 out. 2024.

    • APA

      Colombo, F. B., & Páez Carreño, M. N. (2012). Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach. In Microelectronics technology and devices, SBMicro. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo. doi:10.1149/04901.0297ecst

    • NLM

      Colombo FB, Páez Carreño MN. Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2024 out. 09 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0297ecst

    • Vancouver

      Colombo FB, Páez Carreño MN. Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2024 out. 09 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0297ecst
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