Subjects: FILMES FINOS, MICROELETRÔNICA
ABNT
ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. Deposição e caracterização de filmes de 'SI''O IND.2' crescidos pela técnica de pecvd a baixa temperatura. 1996. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1996. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-17052022-090901/pt-br.php. Acesso em: 04 ago. 2024.APA
Alayo Chávez, M. I. (1996). Deposição e caracterização de filmes de 'SI''O IND.2' crescidos pela técnica de pecvd a baixa temperatura (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-17052022-090901/pt-br.phpNLM
Alayo Chávez MI. Deposição e caracterização de filmes de 'SI''O IND.2' crescidos pela técnica de pecvd a baixa temperatura [Internet]. 1996 ;[citado 2024 ago. 04 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-17052022-090901/pt-br.phpVancouver
Alayo Chávez MI. Deposição e caracterização de filmes de 'SI''O IND.2' crescidos pela técnica de pecvd a baixa temperatura [Internet]. 1996 ;[citado 2024 ago. 04 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-17052022-090901/pt-br.php