Subjects: ENGENHARIA ELÉTRICA, USINAGEM, SILICONE, ÓPTICA, PROCESSOS DE FABRICAÇÃO
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ABNT
CIRINO, Giuseppe Antonio et al. Fabrication of a continuous parabolic surface relief array using a silicon-based wet-etch micromachining. 2000, Anais.. Washington, DC, USA: OSA Publishing, 2000. Disponível em: https://doi.org/10.1364/OFT.2000.OMB3. Acesso em: 05 nov. 2024.APA
Cirino, G. A., Mansano, R. D., Verdonck, P. B., Lichti, P. A., Stefani, M. A., & Gonçalves Neto, L. (2000). Fabrication of a continuous parabolic surface relief array using a silicon-based wet-etch micromachining. In . Washington, DC, USA: OSA Publishing. doi:10.1364/OFT.2000.OMB3NLM
Cirino GA, Mansano RD, Verdonck PB, Lichti PA, Stefani MA, Gonçalves Neto L. Fabrication of a continuous parabolic surface relief array using a silicon-based wet-etch micromachining [Internet]. 2000 ;[citado 2024 nov. 05 ] Available from: https://doi.org/10.1364/OFT.2000.OMB3Vancouver
Cirino GA, Mansano RD, Verdonck PB, Lichti PA, Stefani MA, Gonçalves Neto L. Fabrication of a continuous parabolic surface relief array using a silicon-based wet-etch micromachining [Internet]. 2000 ;[citado 2024 nov. 05 ] Available from: https://doi.org/10.1364/OFT.2000.OMB3