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  • Unidade: EP

    Subjects: ÓPTICA, CORROSÃO, SILÍCIO, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA)

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    • ABNT

      MEDEIROS, Marina Sparvoli de. Fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa. 2007. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-173703/. Acesso em: 23 jul. 2024.
    • APA

      Medeiros, M. S. de. (2007). Fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-173703/
    • NLM

      Medeiros MS de. Fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa [Internet]. 2007 ;[citado 2024 jul. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-173703/
    • Vancouver

      Medeiros MS de. Fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa [Internet]. 2007 ;[citado 2024 jul. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-173703/
  • Unidade: EP

    Subjects: PLASMA (MICROELETRÔNICA), SILÍCIO

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    • ABNT

      TORRES, Ani Sobral e MANSANO, Ronaldo Domingues. Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasmas acoplado indutivamente (ICP-CVD). . São Paulo: EPUSP. . Acesso em: 23 jul. 2024. , 2003
    • APA

      Torres, A. S., & Mansano, R. D. (2003). Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasmas acoplado indutivamente (ICP-CVD). São Paulo: EPUSP.
    • NLM

      Torres AS, Mansano RD. Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasmas acoplado indutivamente (ICP-CVD). 2003 ;[citado 2024 jul. 23 ]
    • Vancouver

      Torres AS, Mansano RD. Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasmas acoplado indutivamente (ICP-CVD). 2003 ;[citado 2024 jul. 23 ]
  • Unidade: EP

    Subjects: PLASMA (MICROELETRÔNICA), SILÍCIO

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    • ABNT

      TORRES, Ani Sobral. Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasma de alta densidade acoplado indutivamente (ICP-CVD). 2002. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. . Acesso em: 23 jul. 2024.
    • APA

      Torres, A. S. (2002). Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasma de alta densidade acoplado indutivamente (ICP-CVD) (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Torres AS. Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasma de alta densidade acoplado indutivamente (ICP-CVD). 2002 ;[citado 2024 jul. 23 ]
    • Vancouver

      Torres AS. Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasma de alta densidade acoplado indutivamente (ICP-CVD). 2002 ;[citado 2024 jul. 23 ]

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