Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process (2003)
Dantas, Michel Oliveira da Silva; Galeazzo, Elisabete 
; Peres, Henrique Estanislau Maldonado ; Ramírez Fernandez, Francisco Javier
Source: IEEE Sensors Journal,. Unidade: EP
Subjects: NANOTECNOLOGIA, MICROELETRÔNICA
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ABNT
DANTAS, Michel Oliveira da Silva et al. Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process. IEEE Sensors Journal, v. 3, n. 6, 2003Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1109/icsens.2002.1037163. Acesso em: 22 ago. 2024.APA
Dantas, M. O. da S., Galeazzo, E., Peres, H. E. M., & Ramírez Fernandez, F. J. (2003). Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process. IEEE Sensors Journal,, 3( 6). doi:10.1109/icsens.2002.1037163NLM
Dantas MO da S, Galeazzo E, Peres HEM, Ramírez Fernandez FJ. Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process [Internet]. IEEE Sensors Journal,. 2003 ; 3( 6):[citado 2024 ago. 22 ] Available from: https://doi.org/10.1109/icsens.2002.1037163Vancouver
Dantas MO da S, Galeazzo E, Peres HEM, Ramírez Fernandez FJ. Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process [Internet]. IEEE Sensors Journal,. 2003 ; 3( 6):[citado 2024 ago. 22 ] Available from: https://doi.org/10.1109/icsens.2002.1037163
