Medidas elétricas de RF em reatores de processamento a plasma (2001)
Unidade: EPSubjects: MEDIDAS ELÉTRICAS, REATORES E TRANSFORMADORES
ABNT
PISANI, Marcelo Bento. Medidas elétricas de RF em reatores de processamento a plasma. 2001. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2001. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13092024-090815/pt-br.php. Acesso em: 13 fev. 2026.APA
Pisani, M. B. (2001). Medidas elétricas de RF em reatores de processamento a plasma (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13092024-090815/pt-br.phpNLM
Pisani MB. Medidas elétricas de RF em reatores de processamento a plasma [Internet]. 2001 ;[citado 2026 fev. 13 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13092024-090815/pt-br.phpVancouver
Pisani MB. Medidas elétricas de RF em reatores de processamento a plasma [Internet]. 2001 ;[citado 2026 fev. 13 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13092024-090815/pt-br.php
