Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVD (2004)
Unidade: EPSubjects: FILMES FINOS, PLASMA (MICROELETRÔNICA)
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ABNT
MOTTA, Edison Fernandes. Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVD. 2004. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2004. . Acesso em: 05 out. 2024.APA
Motta, E. F. (2004). Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVD (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Motta EF. Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVD. 2004 ;[citado 2024 out. 05 ]Vancouver
Motta EF. Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVD. 2004 ;[citado 2024 out. 05 ]