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Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVD (2004)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: MOTTA, EDISON FERNANDES - EP
  • Unidades: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: FILMES FINOS; PLASMA (MICROELETRÔNICA)
  • Language: Português
  • Abstract: Neste trabalho apresentamos os resultados da deposição e caracterização de filmes de liga de nitrogênio-carbono (a-CNx) pela técnica de deposição química a vapor assistida por plasma (PECVD) à baixa temperatura (100°C). O objetivo deste trabalho é estudar e caracterizar filmes de ligas de nitrogênio-carbono, crescidas pela técnica PECVD, de modo a maximizar a concentração de nitrogênio ligado ao carbono na hibridização sp³. Os filmes foram crescidos a partir da mistura gasosa e metano, um gás precursor de nitrogênio (nitrogênio ou óxido nitroso ou amônia) e gás nobre (argônio ou hélio). Os filmes foram caracterizados através das técnicas: de espectroscopia de absorção de infravermelho (FTIR) e espectroscopia Raman, para determinação das ligações químicas, Retroespalhamento Rutherford (RBS) para determinação da composição química, Espectroscopia de fotoelétrons de Raios X (XPS) para determinação das ligações químicas e composição, Absorção óptica para determinação do gap óptico, medida da curvatura do substrato antes e depois da deposição para determinar a tensão mecânica total do filme e perfilometria para determinar a espessura e a taxa de deposição dos filmes.Os resultados demonstraram que os filmes depositados na placa ativa, utilizando hélio na mistura gasosa apresentaram maior quantidade de átomos de N ligados a carbonos com hibridização sp³. Os filmes depositados utilizando óxido nitroso como precursor de nitrogênio apresentaram melhores resultados naincorporação de nitrogênio ligado a C-sp³. Finalmente tratamento térmico convencional a 550 °C por 10 horas se mostrou mais eficaz na eliminação de hidrogênio nos filmes e no aumento da quantidade de átomos de nitrogênio ligados a C-sp³
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 08.12.2004

  • How to cite
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    • ABNT

      MOTTA, Edison Fernandes; PEREYRA, Inés. Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVD. 2004.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2004.
    • APA

      Motta, E. F., & Pereyra, I. (2004). Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVD. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Motta EF, Pereyra I. Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVD. 2004 ;
    • Vancouver

      Motta EF, Pereyra I. Obtenção e caracterização de filmes finos de nitreto de carbono utilizando a técnica PECVD. 2004 ;

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