Geração automatizada de máscaras para manufatura de MEMS por corrosão anisotrópica profunda (2024)
Unidade: EPAssuntos: ALGORITMOS GENÉTICOS, CORROSÃO ANISOTRÓPICA, SILÍCIO, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
ABNT
REHDER, Ana Paula Borges. Geração automatizada de máscaras para manufatura de MEMS por corrosão anisotrópica profunda. 2024. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2024. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3152/tde-08072025-082638/pt-br.php. Acesso em: 07 out. 2025.APA
Rehder, A. P. B. (2024). Geração automatizada de máscaras para manufatura de MEMS por corrosão anisotrópica profunda (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3152/tde-08072025-082638/pt-br.phpNLM
Rehder APB. Geração automatizada de máscaras para manufatura de MEMS por corrosão anisotrópica profunda [Internet]. 2024 ;[citado 2025 out. 07 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3152/tde-08072025-082638/pt-br.phpVancouver
Rehder APB. Geração automatizada de máscaras para manufatura de MEMS por corrosão anisotrópica profunda [Internet]. 2024 ;[citado 2025 out. 07 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3152/tde-08072025-082638/pt-br.php