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  • Relatorio tecnico

    Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS (2002)

    Guimarães, Marcelo Silva; Sinatora, Amilton

    Unidade: EP

    Assunto: FILMES FINOS (PROPRIEDADES TERMOMECÂNICAS)

    How to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      GUIMARÃES, Marcelo Silva e SINATORA, Amilton. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. . São Paulo: Abcm. . Acesso em: 06 maio 2026. , 2002

    • APA

      Guimarães, M. S., & Sinatora, A. (2002). Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. São Paulo: Abcm.

    • NLM

      Guimarães MS, Sinatora A. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. 2002 ;[citado 2026 maio 06 ]

    • Vancouver

      Guimarães MS, Sinatora A. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. 2002 ;[citado 2026 maio 06 ]

  • Dissertação (Mestrado)

    Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS (2002)

    Guimarães, Marcelo Silva; Sinatora, Amilton (Orientador)

    Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS (PROPRIEDADES TERMOMECÂNICAS), FLAMBAGEM, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS

    Acesso à fonteHow to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      GUIMARÃES, Marcelo Silva. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. 2002. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. Disponível em: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/. Acesso em: 06 maio 2026.

    • APA

      Guimarães, M. S. (2002). Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/

    • NLM

      Guimarães MS. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS [Internet]. 2002 ;[citado 2026 maio 06 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/

    • Vancouver

      Guimarães MS. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS [Internet]. 2002 ;[citado 2026 maio 06 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/
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