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Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS (2002)

  • Authors:
  • Autor USP: GUIMARÃES, MARCELO SILVA - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PME
  • Subjects: FILMES FINOS (PROPRIEDADES TERMOMECÂNICAS); FLAMBAGEM; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
  • Language: Português
  • Abstract: Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 18.03.2002
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      GUIMARÃES, Marcelo Silva; SINATORA, Amilton. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. 2002.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/ >.
    • APA

      Guimarães, M. S., & Sinatora, A. (2002). Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/
    • NLM

      Guimarães MS, Sinatora A. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS [Internet]. 2002 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/
    • Vancouver

      Guimarães MS, Sinatora A. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS [Internet]. 2002 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/

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