Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS (2002)
- Authors:
- Autor USP: GUIMARÃES, MARCELO SILVA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PME
- Subjects: FILMES FINOS (PROPRIEDADES TERMOMECÂNICAS); FLAMBAGEM; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
- Language: Português
- Abstract: Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem
- Imprenta:
- Data da defesa: 18.03.2002
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ABNT
GUIMARÃES, Marcelo Silva. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. 2002. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/. Acesso em: 24 abr. 2024. -
APA
Guimarães, M. S. (2002). Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/ -
NLM
Guimarães MS. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS [Internet]. 2002 ;[citado 2024 abr. 24 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/ -
Vancouver
Guimarães MS. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS [Internet]. 2002 ;[citado 2024 abr. 24 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/
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