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Artigo de periodico
Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering (2001)
Massi, Marcos; Maciel, Homero Santiago; Otani, C.; Mansano, Ronaldo Domingues ; Verdonck, Patrick Bernard
Fonte: Journal of Materials Science: Materials in Electronics. Unidade: EP
Assunto: FILMES FINOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
MASSI, Marcos et al. Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering. Journal of Materials Science: Materials in Electronics, v. 12, p. 343-346, 2001Tradução . . Acesso em: 14 jul. 2024.
APA
Massi, M., Maciel, H. S., Otani, C., Mansano, R. D., & Verdonck, P. B. (2001). Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering. Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 12, 343-346.
NLM
Massi M, Maciel HS, Otani C, Mansano RD, Verdonck PB. Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering. Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2001 ; 12 343-346.[citado 2024 jul. 14 ]
Vancouver
Massi M, Maciel HS, Otani C, Mansano RD, Verdonck PB. Electrical and structural characterization of DLC films deposited by magnetron sputtering. Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2001 ; 12 343-346.[citado 2024 jul. 14 ]
Artigo de periodico
Effects of plasma etching on DLC films (1999)
Massi, Marcos; Mansano, Ronaldo Domingues ; Maciel, Homero Santiago; Otani, C.; Verdonck, Patrick Bernard; Nishioka, L. N. B. M.
Fonte: Thin Solid Films. Unidade: EP
Assunto: PLASMA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
MASSI, Marcos et al. Effects of plasma etching on DLC films. Thin Solid Films, n. 343-344, p. 381-384, 1999Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01691-5. Acesso em: 14 jul. 2024.
APA
Massi, M., Mansano, R. D., Maciel, H. S., Otani, C., Verdonck, P. B., & Nishioka, L. N. B. M. (1999). Effects of plasma etching on DLC films. Thin Solid Films, ( 343-344), 381-384. doi:10.1016/s0040-6090(98)01691-5
NLM
Massi M, Mansano RD, Maciel HS, Otani C, Verdonck PB, Nishioka LNBM. Effects of plasma etching on DLC films [Internet]. Thin Solid Films. 1999 ;( 343-344): 381-384.[citado 2024 jul. 14 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01691-5
Vancouver
Massi M, Mansano RD, Maciel HS, Otani C, Verdonck PB, Nishioka LNBM. Effects of plasma etching on DLC films [Internet]. Thin Solid Films. 1999 ;( 343-344): 381-384.[citado 2024 jul. 14 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01691-5

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