Comedi, David 
; Fajardo, F.; Chambouleyron, I.; Tabacniks, Manfredo Harri
Source: Journal of Vacuum Science & Technology A. Unidade: IF
Subjects: FÍSICA NUCLEAR, FILMES FINOS, MATERIAIS, FÍSICA DE PARTÍCULAS, RAIOS X, ÍNDIO (ELEMENTO QUÍMICO), GERMÂNIO
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ABNT
COMEDI, David et al. Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition. Journal of Vacuum Science & Technology A, v. 12, n. 6, p. 3149-3151, 1994Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1116/1.579229. Acesso em: 25 abr. 2026.APA
Comedi, D., Fajardo, F., Chambouleyron, I., & Tabacniks, M. H. (1994). Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition. Journal of Vacuum Science & Technology A, 12( 6), 3149-3151. doi:10.1116/1.579229NLM
Comedi D, Fajardo F, Chambouleyron I, Tabacniks MH. Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition [Internet]. Journal of Vacuum Science & Technology A. 1994 ; 12( 6): 3149-3151.[citado 2026 abr. 25 ] Available from: https://doi.org/10.1116/1.579229Vancouver
Comedi D, Fajardo F, Chambouleyron I, Tabacniks MH. Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition [Internet]. Journal of Vacuum Science & Technology A. 1994 ; 12( 6): 3149-3151.[citado 2026 abr. 25 ] Available from: https://doi.org/10.1116/1.579229
