Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition (1994)
- Authors:
- Autor USP: TABACNIKS, MANFREDO HARRI - IF
- Unidade: IF
- DOI: 10.1116/1.579229
- Subjects: FÍSICA NUCLEAR; FILMES FINOS; MATERIAIS; FÍSICA DE PARTÍCULAS; RAIOS X; ÍNDIO (ELEMENTO QUÍMICO); GERMÂNIO
- Keywords: Particle-induced X-ray emission; Chemical elements; Rutherford backscattering spectrometry
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Journal of Vacuum Science & Technology A
- ISSN: 0734-2101
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 12, n. 6, p. 3149-3151
- Este periódico é de acesso aberto
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
-
ABNT
COMEDI, David et al. Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition. Journal of Vacuum Science & Technology A, v. 12, n. 6, p. 3149-3151, 1994Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1116/1.579229. Acesso em: 21 fev. 2026. -
APA
Comedi, D., Fajardo, F., Chambouleyron, I., & Tabacniks, M. H. (1994). Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition. Journal of Vacuum Science & Technology A, 12( 6), 3149-3151. doi:10.1116/1.579229 -
NLM
Comedi D, Fajardo F, Chambouleyron I, Tabacniks MH. Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition [Internet]. Journal of Vacuum Science & Technology A. 1994 ; 12( 6): 3149-3151.[citado 2026 fev. 21 ] Available from: https://doi.org/10.1116/1.579229 -
Vancouver
Comedi D, Fajardo F, Chambouleyron I, Tabacniks MH. Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition [Internet]. Journal of Vacuum Science & Technology A. 1994 ; 12( 6): 3149-3151.[citado 2026 fev. 21 ] Available from: https://doi.org/10.1116/1.579229 - Modernização de experiências didáticas de Física Básica
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Informações sobre o DOI: 10.1116/1.579229 (Fonte: oaDOI API)
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