Microfabricação à base de materiais crescidos por PECVD (2002)
Lopes, Alexandre Tavares; Paez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador) 
Subjects: FILMES FINOS, SILÍCIO, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
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ABNT
LOPES, Alexandre Tavares. Microfabricação à base de materiais crescidos por PECVD. 2002. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. . Acesso em: 13 set. 2024.APA
Lopes, A. T. (2002). Microfabricação à base de materiais crescidos por PECVD (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Lopes AT. Microfabricação à base de materiais crescidos por PECVD. 2002 ;[citado 2024 set. 13 ]Vancouver
Lopes AT. Microfabricação à base de materiais crescidos por PECVD. 2002 ;[citado 2024 set. 13 ]
