Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films (2020)
Silva, Felipe Carneiro da 
; Tunes, Matheus Araujo ; Sagás, Julio Cesar ; Fontana, Luis César ; Lima, Nelson Batista de ; Schön, Cláudio Geraldo
Source: Thin Solid Films. Unidades: EP, IPEN
Subjects: CERÂMICA, REVESTIMENTOS, PROPRIEDADES DOS MATERIAIS, FILMES FINOS
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ABNT
SILVA, Felipe Carneiro da et al. Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films. Thin Solid Films, v. 710, p. 10 , 2020Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.138268. Acesso em: 13 out. 2024.APA
Silva, F. C. da, Tunes, M. A., Sagás, J. C., Fontana, L. C., Lima, N. B. de, & Schön, C. G. (2020). Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films. Thin Solid Films, 710, 10 . doi:10.1016/j.tsf.2020.138268NLM
Silva FC da, Tunes MA, Sagás JC, Fontana LC, Lima NB de, Schön CG. Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films [Internet]. Thin Solid Films. 2020 ; 710 10 .[citado 2024 out. 13 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.138268Vancouver
Silva FC da, Tunes MA, Sagás JC, Fontana LC, Lima NB de, Schön CG. Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films [Internet]. Thin Solid Films. 2020 ; 710 10 .[citado 2024 out. 13 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.138268
