Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films (2020)
- Authors:
- USP affiliated authors: SCHÖN, CLAUDIO GERALDO - EP ; LIMA, NELSON BATISTA DE - IPEN ; SILVA, FELIPE CARNEIRO DA - EP
- Unidades: EP; IPEN
- DOI: 10.1016/j.tsf.2020.138268
- Subjects: CERÂMICA; REVESTIMENTOS; PROPRIEDADES DOS MATERIAIS; FILMES FINOS
- Agências de fomento:
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Thin Solid Films
- ISSN: 0040-6090
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 710, 10 p., Sept.2020,138268
- Status:
- Artigo possui versão em acesso aberto em repositório (Green Open Access)
- Versão do Documento:
- Versão submetida (Pré-print)
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-
ABNT
SILVA, Felipe Carneiro da et al. Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films. Thin Solid Films, v. 710, p. 10 , 2020Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.138268. Acesso em: 02 abr. 2026. -
APA
Silva, F. C. da, Tunes, M. A., Sagás, J. C., Fontana, L. C., Lima, N. B. de, & Schön, C. G. (2020). Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films. Thin Solid Films, 710, 10 . doi:10.1016/j.tsf.2020.138268 -
NLM
Silva FC da, Tunes MA, Sagás JC, Fontana LC, Lima NB de, Schön CG. Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films [Internet]. Thin Solid Films. 2020 ; 710 10 .[citado 2026 abr. 02 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.138268 -
Vancouver
Silva FC da, Tunes MA, Sagás JC, Fontana LC, Lima NB de, Schön CG. Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films [Internet]. Thin Solid Films. 2020 ; 710 10 .[citado 2026 abr. 02 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.138268 - Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films
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