Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films (2020)
- Authors:
- USP affiliated authors: SCHÖN, CLAUDIO GERALDO - EP ; LIMA, NELSON BATISTA DE - IPEN ; SILVA, FELIPE CARNEIRO DA - EP
- Unidades: EP; IPEN
- DOI: 10.1007/s42452-020-2617-3
- Subjects: MICROSCÓPIO ELETRÔNICO; FILMES FINOS; MATERIAIS
- Agências de fomento:
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Switzerland
- Date published: 2020
- Source:
- Título: SN Applied Sciences
- Volume/Número/Paginação/Ano: v.2, 865, 2020
- Status:
- Artigo possui acesso gratuito no site do editor (Bronze Open Access)
- Versão do Documento:
- Versão publicada (Published version)
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-
ABNT
SILVA, Felipe Carneiro da et al. Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films. SN Applied Sciences, v. 2, 2020Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1007/s42452-020-2617-3. Acesso em: 02 abr. 2026. -
APA
Silva, F. C. da, Tunes, M. A., Edmondson, P. D., Lima, N. B. de, Sagás, J. C., Fontana, L. C., & Schön, C. G. (2020). Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films. SN Applied Sciences, 2. doi:10.1007/s42452-020-2617-3 -
NLM
Silva FC da, Tunes MA, Edmondson PD, Lima NB de, Sagás JC, Fontana LC, Schön CG. Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films [Internet]. SN Applied Sciences. 2020 ;2[citado 2026 abr. 02 ] Available from: https://doi.org/10.1007/s42452-020-2617-3 -
Vancouver
Silva FC da, Tunes MA, Edmondson PD, Lima NB de, Sagás JC, Fontana LC, Schön CG. Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films [Internet]. SN Applied Sciences. 2020 ;2[citado 2026 abr. 02 ] Available from: https://doi.org/10.1007/s42452-020-2617-3 - Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films
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Silva-2020-Grid-assisted_... |
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