Capacitor MOS aplicado em sensor de imagem química (2013)
- Authors:
- Autor USP: MAGALHÃES, FILIPE BENTO - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: SENSORES QUÍMICOS; DISPOSITIVOS ELETRÔNICOS; SENSORES ÓPTICOS
- Language: Português
- Abstract: O desenvolvimento de sensores em sistemas para controle ambiental tem-se mostrado uma área de elevado interesse científico e técnico. Os principais desafios nesta área estão relacionados ao desenvolvimento de sensores com capacidade de detecção de várias substâncias. Neste contexto, os capacitores MOS apresentam-se como dispositivos versáteis para a geração de imagens químicas com potencial de detecção e classificação de diferentes substâncias a partir de apenas um único sensor. No presente trabalho, foi proposto um sensor MOS com um perfil geométrico de porta em forma de cata-vento composta por Pd, Au e Pt. A resposta do sensor mostrou ter alta sensibilidade a moléculas ricas em átomos de H, como os gases H₂ e NH₃. As medidas de capacitância mostraram que o sensor tem uma resposta não linear para H₂ e NH₃ obedecendo à lei da isoterma de Langmuir. O sensor MOS mostrou-se eficiente na geração de imagens químicas através da técnica de escaneamento por luz pulsada. As imagens químicas correspondentes aos gases H₂ e NH₃ mostraram diferentes padrões quando o N₂ foi utilizado como gás transportador. A diferença entre os padrões aconteceu principalmente devido ao perfil geométrico da porta metálica. A sensibilidade do sensor mostrou dependência com o potencial de polarização. Nas medidas de capacitância, a maior sensibilidade foi observada para potenciais próximos da tensão de banda plana. Já para as imagens químicas, a maior sensibilidade foi observada para potenciais inteiramente na região de depleção. A sensibilidade do sensor também se mostrou dependente do gás transportador. O sensor mostrou ser mais sensível com N₂ como gás transportador do que com ar seco. No entanto, o processo de dessorção dos íons H⁺ resultou ser mais eficiente em ar seco.Os resultados obtidos no presente trabalho sugerem a possibilidade de fabricação de um nariz optoeletrônico utilizando apenas um único sensor MOS.
- Imprenta:
- Data da defesa: 07.02.2013
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ABNT
MAGALHÃES, Filipe Bento. Capacitor MOS aplicado em sensor de imagem química. 2013. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2013. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06072014-230841/. Acesso em: 23 jan. 2026. -
APA
Magalhães, F. B. (2013). Capacitor MOS aplicado em sensor de imagem química (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06072014-230841/ -
NLM
Magalhães FB. Capacitor MOS aplicado em sensor de imagem química [Internet]. 2013 ;[citado 2026 jan. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06072014-230841/ -
Vancouver
Magalhães FB. Capacitor MOS aplicado em sensor de imagem química [Internet]. 2013 ;[citado 2026 jan. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06072014-230841/
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