Residual stresses in titanium nitride thin films deposited by direct current and pulsed direct current unbalanced magnetron sputtering (2006)
- Authors:
- USP affiliated authors: SOUZA, ROBERTO MARTINS DE - EP ; BENEGRA, MARJORIE - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1016/j.tsf.2005.08.214
- Subjects: FILMES FINOS; TENSÃO RESIDUAL; RESISTÊNCIA DOS MATERIAIS; PLASMA (PROCESSOS); TITÂNIO; NITRATOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Thin Solid Films
- ISSN: 0040-6090
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 494, n. 1-2, p. 146-150, Jan. 2006
- Status:
- Nenhuma versão em acesso aberto identificada
-
ABNT
BENEGRA, Marjorie et al. Residual stresses in titanium nitride thin films deposited by direct current and pulsed direct current unbalanced magnetron sputtering. Thin Solid Films, v. 494, n. Ja 2006, p. 146-150, 2006Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2005.08.214. Acesso em: 07 abr. 2026. -
APA
Benegra, M., Lamas, D. G., Fernández de Rapp, M. E., Mingolo, N., Kunrath, A. O., & Souza, R. M. de. (2006). Residual stresses in titanium nitride thin films deposited by direct current and pulsed direct current unbalanced magnetron sputtering. Thin Solid Films, 494( Ja 2006), 146-150. doi:10.1016/j.tsf.2005.08.214 -
NLM
Benegra M, Lamas DG, Fernández de Rapp ME, Mingolo N, Kunrath AO, Souza RM de. Residual stresses in titanium nitride thin films deposited by direct current and pulsed direct current unbalanced magnetron sputtering [Internet]. Thin Solid Films. 2006 ; 494( Ja 2006): 146-150.[citado 2026 abr. 07 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2005.08.214 -
Vancouver
Benegra M, Lamas DG, Fernández de Rapp ME, Mingolo N, Kunrath AO, Souza RM de. Residual stresses in titanium nitride thin films deposited by direct current and pulsed direct current unbalanced magnetron sputtering [Internet]. Thin Solid Films. 2006 ; 494( Ja 2006): 146-150.[citado 2026 abr. 07 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2005.08.214 - Viabilidade do cálculo das tensões residuais pela técnica de indentação instrumentada em filmes finos de nitreto de titânio
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| Tipo | Nome | Link | |
|---|---|---|---|
| Souza_RM-2006-Residual st... |
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