Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações (1999)
- Authors:
- Autor USP: RUBIO, MARIO RICARDO GONGORA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: A meta desta pesquisa é a de acessar a tecnologia MST - Micro System Technology - de forma híbrida. Neste trabalho propõe-se uma tecnologia híbrida usando LTCC - Low Temperature Cofire Ceramic - de cerâmicas verdes a qual associada à tecnologia de filmes espessos e silício, surge como uma alternativa interessante, viável e barata para a fabricação de dispositivos MEMS - Micro Electro-Mechanical Systems - e microsistemas em meso-escala. Os objetivos básicos propostos para serem realizados neste trabalho são os seguintes: - Desenvolvimento de uma tecnologia para meso-sistemas utilizando a tecnologia LTCC usada correntemente em circuitos híbridos multicamada para MCM - Multi Chip Module. - Utilização desta tecnologia, associada às técnicas MEMS tradicionais para a implementação de sensores e atuadores híbridos, com possíveis aplicações na área de micro-fluídica. - Implementação e caracterização dos seguintes sensores e atuadores: - sensor de Proximidade; - Dispositivos fluídicos e sensor de vazão; - Microválvula eletromagnética. Esta área encontra-se em desenvolvimento intenso e os resultados iniciais obtidos mostram que a forma híbrida de realizar meso-sistemas apresenta um futuro promissor.
- Imprenta:
- Data da defesa: 12.03.1999
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ABNT
GÓNGORA RUBIO, Mário Ricardo. Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações. 1999. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1999. Disponível em: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02122024-154421/. Acesso em: 01 abr. 2026. -
APA
Góngora Rubio, M. R. (1999). Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02122024-154421/ -
NLM
Góngora Rubio MR. Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações [Internet]. 1999 ;[citado 2026 abr. 01 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02122024-154421/ -
Vancouver
Góngora Rubio MR. Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações [Internet]. 1999 ;[citado 2026 abr. 01 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02122024-154421/ - Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos
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