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Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos (1990)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: RUBIO, MARIO RICARDO GONGORA - EP
  • Unidades: EP
  • Sigla do Departamento: PEL
  • Subjects: MICROELETRÔNICA
  • Language: Português
  • Abstract: O presente trabalho trata da utilização de técnicas de micro-eletrônica de filme espesso para a implementação de sensores adequados para a aquisição de sinais mecânicos. A tecnologia de filme espesso é apresentada em seus aspectos relevantes para sensores, mostrando os diversos mecanismos de transdução que tornam os resistores de filme espesso adequados para sensoriamento. É analisado o efeito piezo-resistivo dos resistores de filme espesso, do ponto de vista físico e verificada sua utilização para sinais mecânicos, do ponto de vista tecnológico. É proposto utilizar esse efeito para a aquisição de sinais mecânicos. É também sugerido um procedimento de projeto para sensores de resistores de filme espesso, assim como são discutidos sensores de pressão e aceleração, projetados, construídos e testados para este trabalho.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 30.08.1990

  • How to cite
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    • ABNT

      GÓNGORA RUBIO, Mário Ricardo; DEL PICCHIA, Walter. Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos. 1990.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1990.
    • APA

      Góngora Rubio, M. R., & Del Picchia, W. (1990). Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Góngora Rubio MR, Del Picchia W. Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos. 1990 ;
    • Vancouver

      Góngora Rubio MR, Del Picchia W. Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos. 1990 ;


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