Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos (1990)
- Authors:
- Autor USP: RUBIO, MARIO RICARDO GONGORA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEL
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Português
- Abstract: O presente trabalho trata da utilização de técnicas de micro-eletrônica de filme espesso para a implementação de sensores adequados para a aquisição de sinais mecânicos. A tecnologia de filme espesso é apresentada em seus aspectos relevantes para sensores, mostrando os diversos mecanismos de transdução que tornam os resistores de filme espesso adequados para sensoriamento. É analisado o efeito piezo-resistivo dos resistores de filme espesso, do ponto de vista físico e verificada sua utilização para sinais mecânicos, do ponto de vista tecnológico. É proposto utilizar esse efeito para a aquisição de sinais mecânicos. É também sugerido um procedimento de projeto para sensores de resistores de filme espesso, assim como são discutidos sensores de pressão e aceleração, projetados, construídos e testados para este trabalho.
- Imprenta:
- Data da defesa: 30.08.1990
-
ABNT
GÓNGORA RUBIO, Mário Ricardo. Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos. 1990. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1990. Disponível em: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19122024-160742/. Acesso em: 01 abr. 2026. -
APA
Góngora Rubio, M. R. (1990). Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19122024-160742/ -
NLM
Góngora Rubio MR. Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos [Internet]. 1990 ;[citado 2026 abr. 01 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19122024-160742/ -
Vancouver
Góngora Rubio MR. Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos [Internet]. 1990 ;[citado 2026 abr. 01 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19122024-160742/ - Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações
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