Propriedades químicas e morfologicas de filmes hidrogenados de carbeto de silício amorfo (1997)
- Authors:
- Autor USP: PRADO, ROGÉRIO JUNQUEIRA - IF
- Unidade: IF
- Sigla do Departamento: FAP
- DOI: 10.11606/D.43.1997.tde-07032002-142147
- Subjects: FÍSICA DA MATÉRIA CONDENSADA; RAIOS X; FILMES FINOS
- Keywords: CARBETO DE SILICIO; PECVD; SAXS; SILICON CARBIDE
- Language: Português
- Abstract: Neste dissertação discorremos acerca do crescimento e caracterização de filmes finos de carbeto de silício amorfo hidrogenado ('alfa'-'Si IND.1-X''C IND.X':H), crescidos pelo método de deposição química de vapor assistida por plasma (PECVD) noregime de baixa densidade de potência a partir de misturas de silano e metano. Foram analisadas e correlacionadas as propriedades ópticas, morfológicas e composicionais de filmes depositados em diferentes condições de fluxo de silano econcentração de metano. Os resultados não apenas confirmaram dados anteriores obtidos em filmes de a-'Si IND.1-X'''C IND.X':H similares, mas possibilitaram uma melhor compreensão das características deste material. Para a obtenção de um compostode alto gap, alto conteúdo de carbono, química e morfologicamente homogêneo é necessário utilizar baixos fluxos de silano e alta concentração de metano, condições de deposição conhecidas como regime de "plasma faminto por silano". Neste regimesão crescidos filmes em Eg>3 eV, x > 0,5, m
- Imprenta:
- Data da defesa: 22.04.1997
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- Cor do Acesso Aberto: gold
- Licença: cc-by-nc-sa
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ABNT
PRADO, Rogerio Junqueira. Propriedades químicas e morfologicas de filmes hidrogenados de carbeto de silício amorfo. 1997. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1997. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-07032002-142147/. Acesso em: 18 nov. 2024. -
APA
Prado, R. J. (1997). Propriedades químicas e morfologicas de filmes hidrogenados de carbeto de silício amorfo (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-07032002-142147/ -
NLM
Prado RJ. Propriedades químicas e morfologicas de filmes hidrogenados de carbeto de silício amorfo [Internet]. 1997 ;[citado 2024 nov. 18 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-07032002-142147/ -
Vancouver
Prado RJ. Propriedades químicas e morfologicas de filmes hidrogenados de carbeto de silício amorfo [Internet]. 1997 ;[citado 2024 nov. 18 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-07032002-142147/
Informações sobre o DOI: 10.11606/D.43.1997.tde-07032002-142147 (Fonte: oaDOI API)
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