Building of a pecvd reactor: details of the architecture and its influence on the characteristics of the a-'SI' : h films (1995)
- Authors:
- Autor USP: ANDRADE, ADNEI MELGES DE - EP
- Unidade: EP
- Assunto: VÁCUO
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Sbv/Unicamp/Unb
- Publisher place: Brasília
- Date published: 1995
- Source:
- Título: Resumos
- Conference titles: Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia
-
ABNT
BOTTECCHIA, J P e ANDRADE, Adnei Melges de. Building of a pecvd reactor: details of the architecture and its influence on the characteristics of the a-'SI' : h films. 1995, Anais.. Brasília: Sbv/Unicamp/Unb, 1995. . Acesso em: 18 maio 2025. -
APA
Bottecchia, J. P., & Andrade, A. M. de. (1995). Building of a pecvd reactor: details of the architecture and its influence on the characteristics of the a-'SI' : h films. In Resumos. Brasília: Sbv/Unicamp/Unb. -
NLM
Bottecchia JP, Andrade AM de. Building of a pecvd reactor: details of the architecture and its influence on the characteristics of the a-'SI' : h films. Resumos. 1995 ;[citado 2025 maio 18 ] -
Vancouver
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