Avaliação da influência do ambiente no processo de obtenção do siliceto de titânio em fornos RTP operando no LSI-EPUSP (1993)
- Authors:
- Autor USP: COSTA, YAN PRUCHA VIEIRA DA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMT
- Assunto: MATERIAIS
- Language: Português
- Abstract: O presente trabalho foi motivado pela necessidade de melhor se conhecer os fornos RTPdo lSI-EPUSP: RTP-1, que utiliza uma resistência de grafite e o RTP-2 que usa lâmpadas, como fontes de radiação térmica. Como veículo de teste e caracterização destes fôrnos utilizou-se o siliceto de titânio por ser este material de obtenção viável e de viável análise pelas técnicas disponíveis: RBS (Rutherford Back Scattering), SEM (Scanning Electron Microscopy), XRD (x-ray diffraction), microscopia ótica e método das quatro pontas (para medida da resistência elétrica de folha). No presente trabalho foram utilizadas lâminas de silício <100> sobre as quais foi depositado por sputtering um filme de 100 nm de titânio. A reação de silicetação foi realizada ou no forno RTP-1, em vácuo ou no forno RTP-2, em ambiente ou de nitrogênio ou de argonio. Os tempos de processo variaram de poucos segundos a minutos e as temperaturas foram de 650, 850 e 900°C. Os processos térmicos foram realizados em uma ou em duas etapas. As amostras foram ainda posteriormente submetidas a testes de estabilidade térmica (do material formado) através de um tratamento térmico a 900°C durante 30 minutos. Para cada ambiente de processo os resultados obtidos conduzem a conclusões que, reunidas permitiram elaborar um modelo sobre formação e estabilidade térmica do siliceto.
- Imprenta:
- Data da defesa: 23.08.1993
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ABNT
COSTA, Yan Prucha Vieira da. Avaliação da influência do ambiente no processo de obtenção do siliceto de titânio em fornos RTP operando no LSI-EPUSP. 1993. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1993. Disponível em: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-23082024-095922/. Acesso em: 17 mar. 2026. -
APA
Costa, Y. P. V. da. (1993). Avaliação da influência do ambiente no processo de obtenção do siliceto de titânio em fornos RTP operando no LSI-EPUSP (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-23082024-095922/ -
NLM
Costa YPV da. Avaliação da influência do ambiente no processo de obtenção do siliceto de titânio em fornos RTP operando no LSI-EPUSP [Internet]. 1993 ;[citado 2026 mar. 17 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-23082024-095922/ -
Vancouver
Costa YPV da. Avaliação da influência do ambiente no processo de obtenção do siliceto de titânio em fornos RTP operando no LSI-EPUSP [Internet]. 1993 ;[citado 2026 mar. 17 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-23082024-095922/
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