Estudo da formação e deposição de silicetos de titânio sobre dióxido de silício por co-deposição (1993)
- Authors:
- Autor USP: FONTES, MARCELO BARIATTO ANDRADE - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMT
- Assunto: MATERIAIS
- Language: Português
- Abstract: Os silicetos são largamente utilizados na fabricação de dispositivos na tecnologia VLSI. Eles representam uma solução para compatibilizar os tempos de atraso dos componentes e as interconexões nos circuitos integrados. Dos silicetos, o 'TI''SI IND.2' na estrutura cristalina 'C IND.54'é o que apresenta a menor resistividade. Sua obtenção a partir da co-deposição dos elementos 'TI' e 'SI' possui a vantagem de manter a integridade das junções em transistores MOS e formar silicetos sobre qualquer substrato. Neste trabalho estudou-se a formação e deposição de vários silicetos de titânio a partir da co-deposição alternada de silício e titânio sobre dióxido de silício por magnetron sputtering, utilizando para este fim tratamentos térmicos rápidos e diversas técnicas para caracterizá-los: SEM, RBS, X-RAY e resistividade. Foram realizadas medidas in situ para estudar o ambiente de plasma através de uma sonda autocompensada de Langmuir e formular um modelo da taxa de deposição.
- Imprenta:
- Data da defesa: 16.12.1993
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ABNT
FONTES, Marcelo Bariatto Andrade. Estudo da formação e deposição de silicetos de titânio sobre dióxido de silício por co-deposição. 1993. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1993. Disponível em: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-05082024-080059/. Acesso em: 15 abr. 2026. -
APA
Fontes, M. B. A. (1993). Estudo da formação e deposição de silicetos de titânio sobre dióxido de silício por co-deposição (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-05082024-080059/ -
NLM
Fontes MBA. Estudo da formação e deposição de silicetos de titânio sobre dióxido de silício por co-deposição [Internet]. 1993 ;[citado 2026 abr. 15 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-05082024-080059/ -
Vancouver
Fontes MBA. Estudo da formação e deposição de silicetos de titânio sobre dióxido de silício por co-deposição [Internet]. 1993 ;[citado 2026 abr. 15 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-05082024-080059/
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