Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-'IND.1-X SI''IND.X C'h) (1990)
- Authors:
- Autor USP: ONMORI, ROBERTO KOJI - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEL
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: O presente trabalho visa a obtenção de filmes de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-'SI IND.1-X''C IND.X':h) com um reator de Desarga Luminosa (DL) do laboratório de microeletrônica da Universidade de São Paulo (lME-USP). Uma sequência de caracterizações ópticas, elétricas e composicionais foi realizada para acompanhar a evolução da incorporação de carbono nos filmes na fase sólida em função da pressão parcial de metano e da densidade de pot~encia do RF. A efeiciência da incorporação do carbono foi estudada a partir da espectroscopia de eletrons AUGER. Com a espectroscopia de infravermelho, foram analisadas os tipos de ligações possíveis do carbono com hidrogênio e silício. A estabilidade das ligações foi verificada submetendo-se as amostras a tratamentos térmicos. A possibilidade de desenvolvimento de filmes de a-'SI IND.1-X''C IND.X':h com alta resistividade, baixa densidade de estados e transparências elevadas permitiu o uso do material estudado em alguns dispositivos fotovoltáicos e eletrônicos.
- Imprenta:
- Data da defesa: 24.08.1990
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ABNT
ONMORI, Roberto Koji. Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-'IND.1-X SI''IND.X C'h). 1990. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1990. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05022025-112504/pt-br.php. Acesso em: 30 dez. 2025. -
APA
Onmori, R. K. (1990). Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-'IND.1-X SI''IND.X C'h) (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05022025-112504/pt-br.php -
NLM
Onmori RK. Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-'IND.1-X SI''IND.X C'h) [Internet]. 1990 ;[citado 2025 dez. 30 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05022025-112504/pt-br.php -
Vancouver
Onmori RK. Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-'IND.1-X SI''IND.X C'h) [Internet]. 1990 ;[citado 2025 dez. 30 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05022025-112504/pt-br.php - Morphology and electrical properties of dEPDM rubber and PAni blends
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