@mastersthesis{mastersthesise7257590,
title   = {Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados},
author = {Carvalho, Rodrigo Amorim Motta and Silva, Maria Lucia Pereira da},
year = {2009},
school = {Universidade de São Paulo}
}