@mastersthesis{mastersthesis9277d165,
title   = {Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura},
author = {Rocha, Otávio Filipe da and Viana, Carlos Eduardo},
year = {2007},
school = {Universidade de São Paulo}
}