@mastersthesis{mastersthesis348ac815,
title   = {Estudo da viabilidade de fabricação de dispositivos semicondutores baseados em filmes de carbeto de silício crescidos por PECVD},
author = {Oliveira, Alessandro Ricardo de and Paez Carreño, Marcelo Nelson},
year = {2006},
school = {Universidade de São Paulo}
}