@inproceedings{inproceedings36369296, title = {Modificação da superfície de silício após irradiação com laser de Nd:YAG}, author = {Saggioro, B. Z. and Hernandes, Antônio Carlos}, year = {2005}, publisher = {IFSC- IQSC- EESC / USP}, booktitle = {Simpósio em Ciência e Engenharia de Materiais - SICEM} }