@inproceedings{inproceedingsf8750075, title = {Estudo de ligações químicas entre carbono, nitrogênio e oxigênio nos filmes de nitreto de carbono produzidos por RF magnetron sputtering reativo}, author = {Matsuoka, Masao and Mittani, Juan C and Lopes, Karina C and Isotani, Sadao and Pinto, Ricardo C and Mansano, Ronaldo Domingues}, year = {2003}, publisher = {SBF}, booktitle = {Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada 26} }